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- ATIK
- 06-08-2021
[관련기사] 반도체응용 질량분석기 수주
(주)한국에이티아이 의 비즈니스 파트너인 Atonarp 관련기사입니다.
한국에이티아이가 독자개발한 Psi와 일본의 질량분석기 전문회사인 Atonarp가 개발한 Aston을 삼성에서 성공적으로 수주하였다.
양사는 수개월에 걸쳐서 Lithography 핵심장비의 운용에 필요한 최첨단의 질량분석기를 적용하기 위한 테스트를 진행해왔다.
Psi는 Chamber 압력의 변화에도 정확한 가스 분석을 가능하게 하는 전처리 기기이며
Aston은 plasma 방식을 채택하여 이온화 및 세정을 용이하게 하는, Customised Compact Mass Spectrometer이다.
한국에이티아이는 반도체 제조 공정관리의 분석적 과학화와 최적화를 위해서 다양한 응용분야에서 POC를 확보하고 있으며,
내년부터 양산라인에 본격 적용될 것으로 기대하고 있다.
Psi is an intelligent pressure controller developed by ATIK for use with Atonarp’s Aston, compact mass spectrometer.
The combined solution has recently been purchased by Samsung after passing a detailed,
multi-month technical feasibility evaluations for an advanced lithography application.
The ATIK Psi intelligent pressure controller provides the Atonarp Aston Mass spectrometer with a consistent pressure input,
insulating Aston from rapid chamber pressure fluctuations.
Atonarp’s Aston affords customers significant benefits via a unique combination of plasma and
electron impact ionization sources as well as a self-cleaning capability.
These features enable Aston to operate effectively in the most challenging semiconductor process environments.
ATIK is performing various analytical and optimization evaluations at Samsung and SK Hynix with the combined Psi and Aston solution,
many of which are expected to go to volume production in the coming 12 months.
[ATONARP]
감사합니다.