Semiconductor
전문적인 Analysis System으로 공정 개선과 수율 증대에 기반이 되는 ATIK만의 솔루션을 보유하고 있습니다.
ATIK의 공정 monitoring 제품은 포토공정, 식각공정, 증착&이온주입공정, CMP공정 등 반도체 주요공정에 적용되어 있습니다.
Chemical Concentration Monitor
cleaning 공정에 사용되는 각종 chemical의 농도를 실시간 monitoring합니다.
LPC
CMP slurry 분석 및 large particle을 실시간 monitoring합니다.
Mass spectroscopy
시각공정, 증착공정의 chamber 내 gas를 분석하여 EPD로 활용합니다.
